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N2 gas MFC에 다른가스를 흘려도 괜찮나요?

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작성자 관리자 작성일18-07-03 16:33 조회692회 댓글0건

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저희 MFC 는 O-ring seal 이기에  가스별로  sealing 하는 O-ring 재질이 정해져있습니다.

홍보자료실의  카다로그내에 가스별 sealing 을 참고하시기 바랍니다.

만일 사용하려는Gas 가  가지고 계신 MFC 와 같은 seal일경우

Conversion factor값을 적용하여 계산하여 사용하시면 됩니다.

**만일 sealing 이 다를경우 절대 사용하시면 안됩니다. 

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