N2 gas MFC에 다른가스를 흘려도 괜찮나요?
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작성자 관리자 작성일18-07-03 16:33 조회4,376회 댓글0건본문
저희 MFC 는 O-ring seal 이기에 가스별로 sealing 하는 O-ring 재질이 정해져있습니다.
홍보자료실의 카다로그내에 가스별 sealing 을 참고하시기 바랍니다.
만일 사용하려는Gas 가 가지고 계신 MFC 와 같은 seal일경우
Conversion factor값을 적용하여 계산하여 사용하시면 됩니다.
**만일 sealing 이 다를경우 절대 사용하시면 안됩니다.
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